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◆性能特点:
小型化及可拆卸化设计,非常便于携带及教学。激光检测头和样品扫描台集成一体,结构非常稳定,抗干扰性强。
精密探针定位装置,激光光斑对准调节非常简便。
单轴驱动样品自动垂直接近探针,使针尖垂直于样品扫描。
马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
自动光学定位,无需调焦,实时观测与定位探针样品扫描区域。
弹簧悬挂式防震方式,简单实用,防震效果好。集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。
◆测量范围及应用:
测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case
序号
名称
技术参数
01
工作模式
轻敲模式、RMS-Z曲线
02
选配模式
接触、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力
03
选配力曲线
F-Z力曲线
04
XY扫描范围
20×20um,可选50×50um,100×100um
05
Z扫描范围
2.5um,可选5um,10um
06
扫描分辨率
横向0.2nm,纵向0.05nm
07
样品尺寸
Φ≤90mm,H≤20mm
08
样品台行程
15×15mm
09
光学观察
4X光学物镜/2.5um分辨率
10
扫描速率
0.6Hz~30Hz
11
扫描角度
0~360°
12
运行环境
Windows XP/7/8/10操作系统
13
通信接口
USB2.0/3.0
14
减震设计
弹簧悬挂方式