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◆性能特点：
光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大。
同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响。
同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能。
激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强。
精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便。
单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描。
马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。
超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位。
集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。
◆测量范围及应用：
测量范围：二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用：纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case
序号
名称
技术参数
01
工作模式
接触模式、轻敲模式
02
选配模式
摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力
03
力谱曲线
F-Z力曲线、RMS-Z曲线
04
XY扫描范围
50×50um，可选20×20um，100×100um
05
Z扫描范围
5um，可选2.5um，10um
06
扫描分辨率
横向0.2nm，纵向0.05nm
07
样品尺寸
Φ≤68mm，H≤20mm
08
样品台行程
25×25mm
09
光学物镜
5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜
10
光学目镜
10X
11
照明方式
LED柯勒照明系统
12
光学调焦
粗微动手动调焦
13
摄像头
500万像素CMOS传感器
14
显示屏
10.1寸平板显示器，带图像测量功能
15
扫描速率
0.6Hz~30Hz
16
扫描角度
0~360°
17
运行环境
Windows XP/7/8/10操作系统
18
通信接口
USB2.0/3.0
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