金相显微镜定标测量的数据不准确可能由多种原因导致。以下是可能的原因：

标尺选择错误：如果在测量过程中选择了错误的标尺，或者C1和C5的刻度值不一致，那么测量得到的数据就可能不准确。

物镜场曲：物镜场曲是金相显微镜测量中常见的误差来源之一。物镜场曲偏差是指当聚焦点从视场中心移动到视场边缘时，观察到的位移量。如果物镜场曲偏差超过了规定的指标值，那么测量结果就可能不准确。

为了提高金相显微镜定标测量的准确性，可以采取以下措施：

正确选择标尺：确保选择正确的标尺，并检查C1和C5的刻度值是否一致。

校正物镜场曲：对金相显微镜的物镜进行场曲校正，确保物镜场曲偏差在规定的指标值以内。

此外，还有其他因素可能导致金相显微镜定标测量数据不准确，例如显微镜的精度、操作人员的熟练程度、测量环境等。因此，在使用金相显微镜进行定标测量时，需要注意各种潜在的误差来源，并采取相应的措施来减小误差，提高测量准确性。